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特許情報


発明の名称
単結晶基板表面に形成されるステップ構造のピン止め方法、及びピン止めされたステップ構造を有する単結晶基板 
発明者
吉本護, 原　和香奈, 松井　良憲, 村杉　政一　, 関　修平, 田川　精一, 竹内　敦子, 青田 奈津子, 小山 浩司, 古滝 敏郎, 砂川 和彦, 矢口 洋一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 並木精密宝石株式会社, 国立大学法人大阪大学.  
出願日
2005/12/28
出願番号
特願2005-378335
公開日
2007/07/12
公開番号
特開2007-181007
登録日
2012/02/17
登録番号
特許第4923272号

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