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特許情報


発明の名称
無機・高分子構造体、微小および超微小電気機械システム、製造方法、および製造装置 
発明者
石山千恵美, 曽根　正人, 肥後矢吉.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2007/09/06
出願番号
特願2007-230872
公開日
2009/03/26
公開番号
特開2009-061650

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