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特許情報


発明の名称
極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法 
発明者
細貝　知直, 堀岡一彦, 関　匡平, 溝越　寛.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ウシオ電機株式会社.  
出願日
2007/10/17
出願番号
特願2007-270121
公開日
2009/05/07
公開番号
特開2009-099390

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