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特許情報


発明の名称
静電アクチュエータの製造方法 
発明者
實吉敬二.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2008/08/29
出願番号
特願2008-221746
公開日
2010/03/11
公開番号
特開2010-057320
登録日
2012/12/21
登録番号
特許第5161006号

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