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特許情報


発明の名称
積層膜およびその製膜方法 
発明者
篠崎和夫, 大野　翼, 田中　貴司, 櫻井修, クロス ジェフリー スコット, 脇谷　尚樹.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 国立大学法人静岡大学.  
出願日
2010/03/19
出願番号
特願2010-065244
公開日
2011/10/06
公開番号
特開2011-195396

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