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特許情報


発明の名称
原子発光検出器用マイクロプラズマ装置 
発明者
沖野晃俊, 宮原秀一, 鈴木雄太.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2013/06/24
出願番号
特願2013-131589
公開日
2015/01/08
公開番号
特開2015-004648
登録日
2017/07/07
登録番号
特許第6167272号

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