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特許情報


発明の名称
プラズマを用いた樹脂表面のコントロール方法およびコントロール装置 
発明者
沖野晃俊, 宮原秀一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2015/05/25
出願番号
特願2015-105467
公開日
2016/12/22
公開番号
特開2016-216668
登録日
2019/06/28
登録番号
特許第6544798号

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