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特許情報


発明の名称
強誘電性薄膜、電子素子及び製造方法 
発明者
清水荘雄, 舟窪浩, 片山きりは, 三村和仙.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2015/08/28
出願番号
特願2016-545654
公開日
2017/06/15
公開番号
再表2016/031986
登録日
2020/02/14
登録番号
特許第6661197号

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