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特許情報


発明の名称
テラヘルツ波検出装置およびアレイセンサ 
発明者
河野行雄, 鈴木大地.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2017/04/28
出願番号
特願2018-514736
公開日
2019/03/14
公開番号
再表2017/188438
登録日
2020/09/04
登録番号
特許第6758720号

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