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特許情報


発明の名称
バリウムおよびストロンチウムを含む珪化物薄膜及びその製造方法 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 青山航大, 召田　雅実, 秋池　良.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東ソー株式会社.  
出願日
2019/09/03
出願番号
特願2019-160314
公開日
2021/03/11
公開番号
特開2021-038433
登録日
2024/04/17
登録番号
特許第7474434号
備考
権利存続

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