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特許情報


発明の名称
強誘電性膜の製造方法、強誘電性膜、及びその用途 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 三村和仙, 中村　美子, 志村　礼司郎, 田代裕貴.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2020/04/27
出願番号
PCT/JP2020/018031
公開日
2020/10/29
公開番号
WO 2020/218617

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