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特許情報


発明の名称
マイクロバルブ及びそれを用いたマイクロポンプ 
発明者
金俊完, 松原竜也.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2021/02/03
出願番号
特願2021-015852
公開日
2022/08/16
公開番号
特開2022-118970

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