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特許情報


発明の名称
パターン形成装置 
発明者
金俊完, キム ドンスウ, ジョン ミンフン　, リ ヒョンア.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ハンバッ大学校 産学協力団.  
出願日
2022/01/28
出願番号
特願2022-012091
公開日
2023/08/09
公開番号
特開2023-110564

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