発明者,発明の名称,種別,状態,出願人,出願日,出願番号,公開日,公開番号,登録日,登録番号
"篠崎和夫,大野　翼,田中　貴司,櫻井修,クロス ジェフリー スコット,脇谷　尚樹","積層膜およびその製膜方法","特許","公開","国立大学法人東京工業大学, 国立大学法人静岡大学","2010/03/19","特願2010-065244","2011/10/06","特開2011-195396",,