Effects of Fluence and Temperature on Sputtering Yield by He-Ion Bombardment(共著)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Fluence and Temperature on Sputtering Yield by He-Ion Bombardment(共著)

著者

和文:	M. Tomita, K. Masumori, M. Takami, H. Akatsuka, T. Nate, S. Miyagi, M. Sakisaka.
英文:	M. Tomita, K. Masumori, M. Takami, H. Akatsuka, T. Nate, S. Miyagi, M. Sakisaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IPPJ-AM

巻, 号, ページ

Vol. 64 pp. 68

出版年月

1989年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
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