Effect of admixture of Rare Gases on Microwave Excited Oxygen Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波励起酸素プラズマに対する希ガスの混入効果
英文:	Effect of admixture of Rare Gases on Microwave Excited Oxygen Plasma

著者

和文:	坂本武士, 直井浩一, 北村直久, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	T. Sakamoto, K. Naoi, N. Kitamura, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
英文:	Proceeding of Plasma Science Symposium 2005/ The 22nd Symposium on Plasma Processing (PSS-2005/SPP-22)

巻, 号, ページ

pp. 535

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会

開催地

和文:
英文:	名古屋