Dependence of Gas Temperature of Oxygen and Nitrogen Mixed Plasma on their Mixture Ratio

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸素窒素混合プラズマのガス温度の混合比に対する依存性
英文:	Dependence of Gas Temperature of Oxygen and Nitrogen Mixed Plasma on their Mixture Ratio

著者

和文:	北村直久, 坂本武士, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	N. Kitamura, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会プロシーディングス
英文:	Proceeding of Plasma Science Symposium 2005/ The 22nd Symposium on Plasma Processing (PSS-2005/SPP-22)

巻, 号, ページ

pp. 549

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会

開催地

和文:
英文:	名古屋