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論文・著書情報


タイトル
和文:金属アルコキシドを原料としたＣＶＤ法によるTiO2-ZrO2薄膜の合成 
英文:Preparation of TiO2-ZrO2 Films by MOCVD 
著者
和文: 今下勝博, 舟窪浩, 木枝暢夫, 加藤誠軌, 水谷惟恭.  
英文: 今下勝博, HIROSHI FUNAKUBO, 木枝暢夫, 加藤誠軌, nobuyasu mizutani.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本化学会誌 
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巻, 号, ページ     No. 12    pp. 1395-1401
出版年月 1990年 
出版者
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会議名称
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開催地
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