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論文・著書情報


タイトル
和文:CVD法によるTaNx-TiN薄膜の合成 
英文: 
著者
和文: 舟窪浩, 水谷惟恭, 小林幹雄, 木枝暢夫, 加藤誠軌.  
英文: HIROSHI FUNAKUBO, nobuyasu mizutani, 小林幹雄, 木枝暢夫, 加藤誠軌.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会学術論文誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 98    No. 2    pp. 168-173
出版年月 1990年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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