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論文・著書情報


タイトル
和文:CVD法による窒化タンタル薄膜の合成とその析出機構 
英文: 
著者
和文: 舟窪浩, 小林幹雄, 木枝暢夫, 加藤誠軌, 水谷惟恭.  
英文: HIROSHI FUNAKUBO, 小林幹雄, 木枝暢夫, 加藤誠軌, nobuyasu mizutani.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:化学工学論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 16    No. 3    pp. 430-437
出版年月 1990年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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