Effect of Frequency on Characteristics of Radio Frequency Argon-Hydrogen Plasmas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Frequency on Characteristics of Radio Frequency Argon-Hydrogen Plasmas

著者

和文:	渡辺隆行, Atsushi Kanzawa, Mina Sakano, Naohiko Shimura, Yoshimichi Ohnishi.
英文:	Takayuki Watanabe, Atsushi Kanzawa, Mina Sakano, Naohiko Shimura, Yoshimichi Ohnishi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 3rd Asia-Pasific Conference on Plasma Science and Technology

巻, 号, ページ

pp. 143-148

出版年月

1996年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	3rd Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

開催地

和文:
英文:	Tokyo

アブストラクト

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