Phase Separation into Nano-crystalline Nitrides in Ternary Ti-Si-N System via N Implantation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Phase Separation into Nano-crystalline Nitrides in Ternary Ti-Si-N System via N Implantation

著者

和文:	S. Muraishi, T. Aizawa, H. Kuwahara.
英文:	S. Muraishi, T. Aizawa, H. Kuwahara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science Forum

巻, 号, ページ

Vol. 475-479 pp. 3651-3654

出版年月

2004年11月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI