A TiNiPd Thin Film Microvalve for High Temperature Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A TiNiPd Thin Film Microvalve for High Temperature Applications

著者

和文:	Y. Liu, M. Kohl, K. Okutsu, S. Miyazaki.
英文:	Y. Liu, M. Kohl, K. Okutsu, S. Miyazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science and Engneering

巻, 号, ページ

Vol. A 378 pp. 205-209

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: