Ti Surface Oxidization by Microwave Discxharge Oxygen Plasma and Plasma Parameters

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ti Surface Oxidization by Microwave Discxharge Oxygen Plasma and Plasma Parameters

著者

和文:	S. Kakizaka, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.
英文:	S. Kakizaka, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Bull. Am. Phys. Soc.

巻, 号, ページ

Vol. 50 No. 7 pp. 21

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	58th GEC05 (Gaseous Electronics Conference 2005)

開催地

和文:
英文:	San Jose, California