Synthesis of silicon nanoparticles using atmospheric pressure VHF microplasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of silicon nanoparticles using atmospheric pressure VHF microplasma

著者

和文:	Daisuke Asahi, Kenji Sasaki, Ken Okazaki, 野崎智洋.
英文:	Daisuke Asahi, Kenji Sasaki, Ken Okazaki, Tomohiro Nozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 16th symposium of the materials research society of Japan (MRS-J)

巻, 号, ページ

Vol. H1-P30-M pp. 184

出版年月

2005年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	The 16th symposium of the materials research society of Japan (MRS-J)
英文:

開催地

和文:	日本大学駿河台キャンパス
英文: