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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Modeling of Plasma CVD on the Inner Surface of a Micro Channel 
著者
和文: M. Kadowaki, A. Yamamoto, S. Mori, M. Suzuki.  
英文: M. Kadowaki, A. Yamamoto, S. Mori, M. Suzuki.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:SPSM-18アブストラク集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 61
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:第18回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-18) 
開催地
和文: 
英文:東京大学 

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