Development of Gas Jet Type Z-Pinch Extreme Ultraviolet Light Source for Next Generation Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Gas Jet Type Z-Pinch Extreme Ultraviolet Light Source for Next Generation Lithography

著者

和文:	I.Song, Y.Honma, K.Iwata, S.R.Mohanty, M.Watanabe, T.Kawamura, A.Okino, K.Yasuoka, K.Horioka, E.Hotta.
英文:	I.Song, Y.Honma, K.Iwata, S.R.Mohanty, M.Watanabe, T.Kawamura, A.Okino, K.Yasuoka, K.Horioka, E.Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	National Institute for Fusion Science

巻, 号, ページ

Vol. NIFS-PROC-61 pp. 23-29

出版年月

2005年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	核融合科学研究所研究会

開催地

和文:
英文: