ホットエンボス加工における微細形状転写機構の微視的検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	ホットエンボス加工における微細形状転写機構の微視的検討
英文:	A Microscopic Study on Micro-scale Transcription Mechanism of Hot Embossing Lithography

著者

和文:	高田淳史, 佐藤勲, 斉藤卓志, 川口達也, 焼本数利, 伊東宏.
英文:	Atsushi Takata, Isao Satoh, Takushi Saito, Tatsuya Kawaguchi, Kazutoshi Yakemoto, Hiroshi Ito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	成形加工'05予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 83-84

出版年月

2005年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	成形加工'05
英文:

開催地

和文:	東京都江戸川区
英文: