Three-dimensional MEMS Made of Thin Film Metallic Glass

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Three-dimensional MEMS Made of Thin Film Metallic Glass

著者

和文:	Akira Shimokohbe.
英文:	Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceeding of The 2nd International conference on Mechatronics 2005

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 724-732

出版年月

2005年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 2nd International conference on Mechatronics 2005

開催地

和文:
英文:	Kuala Lunpur, Malaysia