Nanometer Positioning in the Presence of Friction

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanometer Positioning in the Presence of Friction

著者

和文:	Lu Lihua, Guo Yongfeng, Hiroyuki Tachikawa, Liang Yingchun, Akira Shimokohbe.
英文:	Lu Lihua, Guo Yongfeng, Hiroyuki Tachikawa, Liang Yingchun, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceeding of The 1st International Conference on Precision Engineering and Micro/Nano Technology in Asia

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 409-413

出版年月

2005年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 1st International Conference on Precision Engineering and Micro/Nano Technology in Asia

開催地

和文:
英文:	Shenzhen, China