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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Film 
著者
和文: Seiichi HATA, Ryusuke YAMAUCHI, 櫻井 淳平, Akira SHIMOKOHBE.  
英文: Seiichi HATA, Ryusuke YAMAUCHI, Junpei SAKURAI, Akira SHIMOKOHBE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 45    No. 4    pp. 2708-2713
出版年月 2006年4月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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