カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅰ | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅰ
英文:

著者

和文:	秦　誠一, 山内隆介, 桜井淳平, 下河邉　明.
英文:	秦　誠一, 山内隆介, 桜井淳平, 下河邉　明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2005年秋季第66回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 9a-D-2

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:	徳島
英文:

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