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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Sheet Plasma Production by means of RF Magnetron Discharges 
著者
和文: 奥野 喜裕, H.Ishikura, H.Fujita.  
英文: Y.Okuno, H.Ishikura, H.Fujita.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Review of Scientific Instruments 
巻, 号, ページ Vol. 63    No. 7    pp. 3725-3728
出版年月 1992年7月 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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