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論文・著書情報


タイトル
和文:ハイブリッドプラズマＣＶＤによる炭素膜作製に及ぼす基板温度の影響 
英文: 
著者
和文: 池田 進, 奥野喜裕, 藤田寛治, 芳尾真幸.  
英文: 池田 進, YOSHIHIRO OKUNO, 藤田寛治, 芳尾真幸.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:Journal of the Ceramic Society of Japan 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 101    No. 8    pp. 951-954
出版年月 1993年8月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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