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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Production of High-Density Sheet Plasma by an RF Magnetron Device with High-Frequency Operation 
著者
和文: K.Murata, 奥野 喜裕, H.Fujita.  
英文: K.Murata, Y.Okuno, H.Fujita.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Review of Scientific Instruments 
巻, 号, ページ Vol. 65    No. 3    pp. 673-677
出版年月 1994年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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