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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Numericdl studies on the Noneguilibrium Inductively Coupled Plasma with Metal Vapor Ionization 
著者
和文: 末包哲也.  
英文: TETSUYA SUEKANE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IEEE Transactions on Plasma Sciences 
巻, 号, ページ Vol. 24    No. 3    pp. 1147
出版年月 1996年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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