Ultrashort-Pulse Laser Heating of Silicon to Reduce Microstructure Adhesion

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ultrashort-Pulse Laser Heating of Silicon to Reduce Microstructure Adhesion

著者

和文:	K. Fushinobu, L.M. Phinney, N.C. Tien.
英文:	K. Fushinobu, L.M. Phinney, N.C. Tien.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Journal of Heat and Mass Transfer

巻, 号, ページ

Vol. 39 No. 15 pp. 3181-3186

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: