A Microwave Discharge Oxygen Plasma of Atmospheric Pressure -- Apparatus, Diagnostics, Numerical Modeling, and Application --

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Microwave Discharge Oxygen Plasma of Atmospheric Pressure -- Apparatus, Diagnostics, Numerical Modeling, and Application --

著者

和文:	H. Akatsuka, M. Komatsubara, T. Tandai, T. Terashi, K. Kano, M. Umebayashi, R. Ohkawara, S. Nemoto, A.N. Ezoubtchenko, M.
英文:	H. Akatsuka, M. Komatsubara, T. Tandai, T. Terashi, K. Kano, M. Umebayashi, R. Ohkawara, S. Nemoto, A.N. Ezoubtchenko, M.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	XXIV ICPIG, Warsaw

巻, 号, ページ

Vol. 24 pp. 121

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: