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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd3Ga5O12 
著者
和文: H.Yokoi, 水本 哲弥.  
英文: H.Yokoi, T.Mizumoto.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Conference on Lasers and Electro-Optics Europe (CLEO Europe ’98) Technical Digest 
巻, 号, ページ         pp. 336
出版年月 1998年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
和文: 
英文:Glasgow 

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