Pick and Place Operation of a Micro Object with High Reliability and Precision based on Micro Physics under SEM

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pick and Place Operation of a Micro Object with High Reliability and Precision based on Micro Physics under SEM

著者

和文:	齋藤滋規, Hideki Miyazaki, Tomomasa Sato.
英文:	Shigeki Saito, Hideki Miyazaki, Tomomasa Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 1999 IEEE International Conference on Robotics and Automation

巻, 号, ページ

No. 3 pp. 2736-2743

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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