Micro Object Handling under SEM by Vision-based Automatic Control

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro Object Handling under SEM by Vision-based Automatic Control

著者

和文:	Takeshi Kasaya, Hideki Miyazaki, 齋藤滋規, Tomomasa Sato.
英文:	Takeshi Kasaya, Hideki Miyazaki, Shigeki Saito, Tomomasa Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 1998 SPIE Microrobotics and Micromanipulation

巻, 号, ページ

Vol. 3519 pp. 181-192

出版年月

1998年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: