Subpicosecond laser processing of polycrystalline silicon microstructures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Subpicosecond laser processing of polycrystalline silicon microstructures

著者

和文:	L.M. Phinney, K. Fushinobu, C.-L. Tien.
英文:	L.M. Phinney, K. Fushinobu, C.-L. Tien.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microscale Thermal Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 4 No. 1 pp. 61-75

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: