Electron Temperature, Density, and Metastabl-atom Density of Argon Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Dischared by 7.0, 8.0 and 9.4 GHz Microwaves

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electron Temperature, Density, and Metastabl-atom Density of Argon Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Dischared by 7.0, 8.0 and 9.4 GHz Microwaves

著者

和文:	Yoko Kawai, Katsuhiro Kano, Tatsuya Suzuki, Hiroshi Akatsuka, Yasuhiko Fujii.
英文:	Yoko Kawai, Katsuhiro Kano, Tatsuya Suzuki, Hiroshi Akatsuka, Yasuhiko Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vacuum Sci. & Technol.

巻, 号, ページ

Vol. 18 No. 5 pp. 2207-2212

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: