空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め

論文・著書情報

タイトル

和文:	空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め
英文:	Ultra Precision Positioning using Air Bearing Lead Screw

著者

和文:	太刀川博之, 福田　真, 佐藤海二, 下河辺明.
英文:	太刀川博之, 福田　真, 佐藤海二, 下河辺明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集（Ｃ編）
英文:	Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers Series C

巻, 号, ページ

Vol. 66 No. 645 pp. 1559-1566

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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