インテリジェント制御法を用いた粗微動位置決め系の制御性能

論文・著書情報

タイトル

和文:	インテリジェント制御法を用いた粗微動位置決め系の制御性能
英文:	Control Performance of Two-stage Positioning System with Intelligent Control Methods

著者

和文:	佐藤海二, 塚原真一郎, 進士忠彦, 下河辺明.
英文:	佐藤海二, 塚原真一郎, 進士忠彦, 下河辺明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集（Ｃ編）
英文:	Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers Series C

巻, 号, ページ

Vol. 66 No. 648 pp. 2736-2741

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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