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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of oxygen and hydrogen on zirconium sputtering in argon plasma 
著者
和文: Rintaro Asami, Tatsuya Suzuki, Yoko Kawai, T. Saburi, Yasuhiko Fujii.  
英文: Rintaro Asami, Tatsuya Suzuki, Yoko Kawai, T. Saburi, Yasuhiko Fujii.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. 17th symp. plasma processing 
巻, 号, ページ         pp. 137-140
出版年月 2000年 
出版者
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会議名称
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開催地
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