Characteristics of argon ECR plasmas discharged by 7.0, 8.0 and 9.4 GHz microwaves in a constant magnetic field

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of argon ECR plasmas discharged by 7.0, 8.0 and 9.4 GHz microwaves in a constant magnetic field

著者

和文:	Yoko Kawai, Tatsuya Suzuki, Tei Saburi, Rie Tokunami, Yasuhiko Fujii.
英文:	Yoko Kawai, Tatsuya Suzuki, Tei Saburi, Rie Tokunami, Yasuhiko Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 17th symp. plasma processing

巻, 号, ページ

pp. 133-136

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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