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論文・著書情報


タイトル
和文:シリコン単結晶の異方性エッチングを用いた微小段差基準片 
英文:A Micro-Step Reference Fabricated by Using an Anisotoropic Etching of Silicon Crystal 
著者
和文: 初澤　毅, 井上　尚紀, 早瀬　仁則, 小口　寿明.  
英文: 初澤　毅, 井上　尚紀, 早瀬　仁則, 小口　寿明.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:計測自動制御学会論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 36    No. 8    pp. 645-649
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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