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論文・著書情報


タイトル
和文:対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気テープ用Co-Cr系合金薄膜の内部応力制御法 
英文: 
著者
和文: 中川茂樹.  
英文: SHIGEKI NAKAGAWA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:学術雑誌 
英文:J. Ion Sci. and Tech. (IONICS) 
巻, 号, ページ Vol. 20    No. 9    pp. 147-154
出版年月 1994年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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