Micro-object Pick and Place Operation under SEM based on Micro-physics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro-object Pick and Place Operation under SEM based on Micro-physics

著者

和文:	齋藤滋規, Hideki T. Miyazaki, Tomomasa Sato.
英文:	Shigeki Saito, Hideki T. Miyazaki, Tomomasa Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Robotics and Mechatronics

巻, 号, ページ

Vol. 14 No. 3 pp. 227-237

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: